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    真空系統中有哪幾種壓力參數呢?

    文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2018-03-18 08:05【


    壓力參數在真空系統中隨處可見,指的是氣體對于固體或者液體表面的垂直作用力,且在真空系統中它是與壓強同義的。


    常見的壓力參數自然是極限壓力。極限壓力是真空系統中真空泵性能的主要參數之一。通俗的理解就是真空系統抽氣過程中,經過長時間抽氣,當真空泵或真空機組的抽速為0或者說真空室的壓力參數一直維持在某一定值時,那就是真空泵或者真空機組的極限壓力了。


    其次是工作壓力。工作壓力就是企業生產過程中,為保證工藝實施及產品質量所必需的壓力參數。真空設備選型過程中,為滿足工藝要求,設備的極限壓力都會低于工作壓力一個數量級左右。


    基礎壓力。在某些工藝領域或者技術人員口中,基礎壓力也叫本底壓力,指的是生產工藝開始實施時真空室的壓力。例如磁控濺射應用可能需要將本地壓力抽至10-4Pa,而濺射過程的工作壓力可能在1Pa左右。


    殘余壓力。殘余壓力某些時候其實和極限壓力一樣,是指經過真空泵或者真空機組一段時間的抽氣作業后,真空室中殘存氣體的全壓。如果此時的真空系統已經沒有抽速了,那殘余壓力就是真空泵或者真空機組的極限壓力。


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